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Aera FC-P2000質量流量控制器
Aera FC-P2000質量流量控制器
| Aera FC-P2000 系列 質量流量控制器 FC-P2000 集壓式 MFC 能夠在廣泛的輸入壓力范圍內，準確控制較低的氣體流量。這使其在安全供給系統 (SDS) 應用中非常有效。在這類應用中，氣體來源壓力會隨著氣體的消耗而緩慢下降。 FC-P2000 MFC 能夠控制2-4 sccm(N2 當量)、低至5 Torr 氣缸壓力的氣體流量，從而能提供高達95%的氣缸氣體使用率。 優勢： 精確度高 具有成本效益 易于替換現有的 SDS MFC 減少堵塞 特點： 因素噴嘴技術 |
| FC-P2000 集壓式 MFC 能夠在廣泛的輸入壓力范圍內，準確控制較低的氣體流量。這使其在安全供給系統 (SDS) 應用中非常有效。在這類應用中，氣體來源壓力會隨著氣體的消耗而緩慢下降。 FC-P2000 MFC 能夠控制2-4 sccm(N2 當量)、低至5 Torr 氣缸壓力的氣體流量，從而能提供高達95%的氣缸氣體使用率。 |
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