德國aixACCT TF-2000鐵電綜合測試系統

1.電滯回線測試頻率最高可達1MHz
2.疲勞測試頻率最高可達20MHz
3.鐵電材料漏電流的測試最大值可達100mA
4.測試頻率低至1mHz
5.測量樣品的尺寸可小至200x200nm
6.脈沖測試
7.漏電流測試
8.損耗測試
9.阻抗分析
10.壓電系數測試
12.熱釋電性能測試等

主要特點

1.超晶格材料在方波脈沖電壓激勵下的自漏電特性
2.測量記錄在薄膜樣品上施加階躍電壓時的電流響應
3.鐵電材料的電滯回線(動態與靜態)、漏電流、壓電等特性
4.在操作條件下記錄單元對電容測試芯片直接存取的仿真
5.測量小信號材料的壓電系數與介電常數
6.可與原子力顯微鏡聯用，對微區或Nanoscale的鐵電、壓電性能進行測試

德國aixACCT公司生產的TF Analyzer 2000鐵電分析儀是世界上最先進的電子材料電特性參數測量儀器。該儀器為完全模塊化設計，不同的模塊對應不同的電特性測量方式，如：DRAM模塊可研究超晶格材料在方波脈沖電壓激勵下的自漏電特性; RELAXATION模塊可測量記錄在薄膜樣品上施加階躍電壓時的電流響應; FERROELECTRIC HYSTERESIS模塊測試鐵電材料的電滯回線(動態與靜態)、漏電流、壓電等特性; PULSE SWITCHING模塊提供在操作條件下記錄單元對電容測試芯片直接存取的仿真。