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奧地利Alicona InfiniteFocus 自動變焦三維表面測量儀
| 主要特點: 該儀器可以進行的測量和分析有:
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| 技術參數垂直分辨率:10nm |
| InfiniteFocus是國際領先的全自動變焦三維測量儀,它的操作原理是小景深的光學系統與垂直掃描相結合,利用焦距變化提供形貌和色彩信息。新穎獨特的運算法則把它重建成包含精確形貌信息的獨立的3D數據集,可追蹤的校準標準可以驗證測量結果。 |
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